中新网北京5月9日电 (记者 孙自法 郑莹莹)中国科学院最新宣布新闻说，，，，，，由中国科学院上海微系统与信息手艺研究所(上海微系统所)、瑞士洛桑联邦理工学 院组成的相助团队在国际上另辟蹊径，，，，，，最近在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片制备领域取得突破性希望，，，，，，已乐成研发并实现可批量制造的新型光子芯片——钽酸锂集成光子芯片，，，，，，相关研究效果论文于北京时间5月8日夜间在国际著名学术期刊《自然》上线揭晓。。。
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　　据悉，，，，，，中国科学院上海微系统所团队孵化的上海新硅聚合半导体有限公司已经具备薄膜钽酸锂异质晶圆量产能力，，，，，，并开发出8英寸异质集成钽酸锂质料手艺，，，，，，将为更大规模的中国国产光学和射频芯片的生长涤讪焦点质料基础。。。
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　　随着全球集成电路工业生长进入“后摩尔时代”，，，，，，集成电路芯片性能提升的难度和本钱越来越高，，，，，，全球迫切寻找新的手艺计划。。。
。。以硅光手艺和薄膜铌酸锂光子手艺为代表的集成光电手艺是应对此瓶颈问题的倾覆性手艺。。。
。。与铌酸锂类似，，，，，，中国与瑞士相助团队研究证实单晶钽酸锂薄膜同样具有优异的电光转换特征，，，，，，且在双折射、透明窗口规模、抗光折变、频率梳爆发等方面相比铌酸锂更具优势。。。
。。别的，，，，，，硅基钽酸锂异质晶圆的制备工艺与绝缘体上的硅越发靠近，，，，，，因此钽酸锂薄膜可实现低本钱和规模；；
；圃，，，，，，具有极高应用价值。。。
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　　论文配合通讯作者、中国科学院上海微系统所欧欣研究员体现，，，，，，研究团队接纳基于“万能离子刀”的异质集成手艺，，，，，，通过氢离子注入连系晶圆键合的要领，，，，，，制备了高质量硅基钽酸锂单晶薄膜异质晶圆，，，，，，随后进一步联合开发出超低消耗钽酸锂光子器件微纳加工要领。。。
。。连系晶圆级流片工艺，，，，，，研究团队探索发明，，，，，，钽酸锂光子芯片不但展现出与铌酸锂薄膜相当的电光调制效率，，，，，，同时兼具片上实现孤子光学频率梳的奇异属性，，，，，，有望在激光雷达、细密丈量等方面实现应用。。。
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　　欧欣指出，，，，，，相较于薄膜铌酸锂，，，，，，薄膜钽酸锂更易制备，，，，，，且制备效率更高。。。
。。别的，，，，，，钽酸锂薄膜具有更宽的透明窗口、强电光调制、弱双折射、更强的抗光折变特征，，，，，，这些先天质料优势极大扩展了钽酸锂平台的光学设计自由度。。。
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　　中国科学院上海微系统所介绍说，，，，，，近十年来，，，，，，欧欣向导该所异质集成团队集中突破高品质单晶薄膜制备及异质集成共性手艺，，，，，，同时重点结构基于异质集成质料的5G/6G高频声学射频滤波器、高速集成光子器件及高功率电子器件手艺。。。
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　　欧欣团队此次与瑞士洛桑联邦理工学院教授托比亚斯·基彭贝格(Tobias J. Kippenberg)团队携手选择可批量制造的钽酸锂薄膜作为研究工具，，，，，，挖掘出钽酸锂相较于铌酸锂在光电性能和批量制备方面的更大优势。。。
。。最新揭晓于《自然》的相关效果显示，，，，，，钽酸锂光子芯片所展现出的极低光学消耗、高效电光转换等特征，，，，，，有望为突破通讯领域速率、功耗、频率和带宽四大瓶颈问题提供解决计划，，，，，，并在低温量子、光盘算、光通讯等领域催生革命性手艺。。。
。。(完)